Analytik gasförmiger Reaktionsprodukte licht- und strahlungsexponierter Polymere und Resiste II


Langzeittestung des GC-MS-Platzes für die Struktur- und Konzentrationsanalytik von Gasgemischen bei der Photoablation, Ermittlung der Leistungsparameter des Messplatzes, Bewertung der Abprodukte (Toxizität)


Principal Investigators
Bendig, Jürgen Prof. Dr. sc. nat. (Details) (Organic Chemistry and Functional Materials)

Duration of Project
Start date: 12/1997
End date: 11/1999

Research Areas
Ablation, GC-MS, Photoresist

Last updated on 2020-14-03 at 23:20